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装备制造
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所属平台成员单位
  • 高低温实验箱

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:VTM7004
    性能参数:仪器的性能参数:-65度-180度
    功能用途:高低温环境模拟


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  • 集成电路验证系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:HP82000
    性能参数:仪器的性能参数:最高测试频率40M;测试通道192;可测漏电流纳安级别
    功能用途:超大规模数字集成电路的测试(静态和动态参数),和功能验证


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  • 测试系统(半导体参数)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:4200.0
    性能参数:半导体测试系统,机器的性能参数为:测试电压最高200V,测试精度pA级
    功能用途:可用于半导体器件静态参数的测试


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  • 测试系统(静态参数)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:TESEC 3620-TT
    性能参数:机器的性能参数为:测试能力1200V/200A;测试精度1mV/3pA;1mΩ~999.9MΩ
    功能用途:可用于功率器件击穿电压、阈值、导通电阻、栅极漏电、漏极漏电、跨导、脉冲电流、源漏二极管正向压降等参数的测量


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  • 测试系统(动态参数)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:TESEC 3430-SW
    性能参数:测试系统的测试能力为:1500V/300A测试精度 2nS
    功能用途:可用于MOSFET和TGBT器件中开启延迟td(on)、关段延迟td(off)、上升时间tr、下降时间tf;二极管反向恢复时间Trr、反向恢复电荷Qrr参数的测量


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  • 测试系统(雪崩能量)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:TESEC 3702-LV
    性能参数:仪器的测试能力200V/100A精度0.1V,0.1A
    功能用途:评估测试三极管、功率MOSFET抗雪崩能量能力参数:单脉冲雪崩能量EAS、重复脉冲雪崩能量EAR


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  • 测试系统(热阻)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:TESEC 9424-KT
    性能参数:测试能力200V/50A;脉冲时间0~9.99S
    功能用途:测试功率三极管、功率MOS器件、IGBT等功率器件热阻参数


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  • 测试系统(栅电荷)

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:ITC 59100
    性能参数:测试能力100V/50A,精度0.5V,0.1A;测试电荷范围Qg 05~500nC
    功能用途:测试功率器件栅电荷Qg、栅电阻Rg参数


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  • 测试系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:4061A
    性能参数:测试能力100V/50A,精度0.5V,0.1A;测试电荷范围Qg 05~501nC
    功能用途:测试功率器件栅电荷Qg、栅电阻Rg参数


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  • X射线曝光对准系统

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:非标
    性能参数:图形位置精度40nm,对准精度30nm,SPP条纹对接40 nm(地址≤125nm)、50nm(地址>125nm),MPG条纹对接35nm,PSM层到层定位精度(≤600nm抗蚀剂)60nm,阵列定位精度0.15mm
    功能用途:X射线曝光对准


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  • 扫描电镜

    所属领域:装备制造
    所属平台成员单位:中科院
    厂商型号:JSM-6401F
    性能参数:冷场发射,极限分辨率3nm,剖面和平面两种形貌检测
    功能用途:SEM检测


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